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　　具有良好的节能效果和光学性能。真空磁控溅射法(PVD)也称离线法，可以实现复杂膜系Low-E玻璃的大规模量产，成为近年来Low-E玻璃的主流生产工艺。相比传统的热反射镀膜玻璃，Low-E玻璃的镀膜层数多也更薄，特别是近年来双银/三银Low-E玻璃的推广，有的产品需要沉积多达20多层不同材料的薄膜，这就对每层薄膜的质量和均匀性提出了非常苛刻的要求。如果不能很好的控制单层薄膜的质量和均匀性，这么多层薄膜累加后的颜色、透光率等光学不均匀性就会非常明显。

　　因此对现有的PVD镀膜工艺来说，提高镀膜的质量和均匀性是一个非常关键的课题。工艺气体布气均匀性作为膜层均匀性控制的主要手段之一，工艺气体布气均匀性非常重要。老司机app采用如下二种方法确保工艺气体沿玻璃板宽方向分布的均匀性：布气管路分为主管和辅管，主管由3个质量流量计分别控制玻璃老司机app污无限制观看版下载气的供气量，辅管根据阴极宽度分为3～7段，每段由一个质量流量计单独控制工艺气体流量。

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